MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム）とは、半導体製造技術を用いてシリコンウェハ上に形成されたセンサやアクチュエータ、およびその集合体を意味します。自動車には数多くの圧力センサが、ゲームやスマートフォンには加速度センサやジャイロセンサが搭載されていますが、これらもMEMSセンサが使われています。一括大量生産ができるため、小型・軽量・安価なセンサ等を量産する技術として優れています。